[发明专利]平板保持体有效
| 申请号： | 200710005750.8 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101025572A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 田中米太 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种保持体，可对用于曝光装置等的大型掩模或平面镜等平板进行防止自重变形的保持。该保持体由保持平板(6)的多个棒状保持部件构成，其特征为，上述保持部件构成为与平板(6)相接的部分为平面，并且上述保持部件包括：第一保持部件(2)，在偏转、转动及起伏移动被允许的状态下，相对于保持体的基座(4)在1处被支持；第二保持部件(3)，在可进行转动与在第二保持部件延伸方向膨胀的状态下，起伏及偏转被限制，并相对于保持体的基座(4)在2处被支持。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 保持 | ||
【主权项】：
1、一种保持体，由保持平板的多个棒状保持部件构成，其特征为：上述保持部件构成为与上述平板相接的部分为平面，并且上述保持部件包括：第一保持部件，在偏转、转动及起伏移动被允许的状态下，在保持体的基座的1处被支持；第二保持部件，在可进行转动与在第二保持部件延伸方向膨胀的状态下，起伏及偏转被限制地在保持体的基座的2处被支持。
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