[发明专利]适用于烘烤一基板的装置有效
| 申请号： | 200710006208.4 | 申请日： | 2007-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101008547A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 林荣昌;吴尚益;游景文 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/06 | 分类号： | F26B3/06;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种装置，此装置适用于烘烤一基板。其包含了一容器、一加热装置以及一预热装置。容器具有一本体、一盖板以及一密封装置。本体具有一开口、至少一气体入口及至少一气体出口；盖板实质上覆盖于开口上，与本体共同界定出一容置空间，以容置基板；密封装置设于本体与开口间。加热装置用以对容置空间中的基板进行烘烤。预热装置提供一循环热气，自至少一气体入口，经由基板的表面，导引至至少一气体出口。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 烘烤 一基板 装置 | ||
【主权项】：
1.一种装置，适用于烘烤一基板，该装置包含：一容器，具有；一本体，该本体具有一开口、至少一气体入口及至少一气体出口；一盖板，实质上覆盖于该开口上，与该本体共同界定出一容置空间，以容置该基板；一密封装置，设于该本体与该盖板间；一加热装置，用以对该容置空间中的基板进行烘烤；以及一预热装置，形成一循环热气，自该本体的至少一气体入口、经由该基板的表面、导引至该至少一气体出口。
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