[发明专利]蒸发器输送安瓿无效
| 申请号： | 200710006314.2 | 申请日： | 2003-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101033537A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 约翰·格雷格;斯科特·巴特勒;杰弗里·I·邦东;多恩·纳伊托 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/48;C23C16/448 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王海川;樊卫民 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种半导体制造过程中所用的蒸发器输送系统(10)，其包括用于容纳可蒸发的源材料的多个垂直堆叠的容器(22)。每个垂直堆叠的容器包括延伸进入每个堆叠容器(22)内部(27)中的多个通风突起物(30)，从而提供用于使载气在相邻的垂直堆叠容器(22)之间通过的通道。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 输送 安瓿 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发器装置，其包括：器皿，其具有第一端，位于第一端的气体进口，位于第一端的气体出口，围绕内部容积的器皿壁，和设置在内部容积内的多个纵向取向的传热元件；以及设置在内部容积中的固态可蒸发材料，其具有松散、不连续和微粒的任意形状。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高级技术材料公司，未经高级技术材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710006314.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：脱载式内燃机皮带涨紧装置
- 下一篇：双行星排式离合器
- 同类专利
- 专利分类
