[发明专利]表面缺陷检查装置、表面缺陷检查方法及表面缺陷检查程序

摘要

由一维摄像装置检出一维摄像装置与检查对象物的相对距离的变动，从而高精度地检出检查对象物的缺陷。表面缺陷检查装置具有：线光源，其对旋转的检查对象物，在副扫描方向的斜向照射亮度不同的带有条纹的图形光；线传感器，其由被照射图形光的检查对象物反射的光，对检查对象物在主扫描方向进行一维摄像；相位检出部，其检出被摄像的线图像的亮度的相位变化；摄像位置控制部，其为了根据相位变化、使检查对象物与线传感器的相对距离保持一定，而控制线传感器的位置。

主权项

1.一种表面缺陷检查装置，其特征在于，具有：照明装置，其随时间的推移，对进行使成为检查对象的检查位置变更的检查移动的检查对象物的该检查位置，在该检查移动方向上照射亮度或色彩变化的图形光；一维摄像装置，其将由所述照明装置照射的所述图形光的自所述检查位置反射的光，在与所述检查移动方向相交的方向上，进行一维摄像；变化检出装置，其从由所述一维摄像装置摄像的一维图像检出亮度或色彩的变化；距离控制装置，其对使所述检查对象物或所述一维摄像装置移动的移动装置，根据由所述变化检出装置检出的所述亮度或色彩的变化，为使所述检查对象物的所述检查位置与所述一维摄像装置之间的距离保持一定，而进行控制。