[发明专利]加速度传感器和加速度传感器的制造方法无效
| 申请号： | 200710006796.1 | 申请日： | 2004-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN101008655A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 山口靖雄 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08;G01P1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种加速度传感器和加速度传感器的制造方法，该加速度传感器的特征在于包括：基板；在上述基板上形成的传感器元件；在上述基板上形成的、在平面视图内包围上述传感器元件的多晶硅接合框；以及通过使其端面与上述多晶硅接合框的上表面接合，而隔着预定的空间覆盖在上述传感器元件的上方的盖；上述多晶硅接合框中未掺杂杂质。由此可以提供可提高接合框和玻璃盖的接合强度的加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器，其特征在于包括：基板；在上述基板上形成的传感器元件；在上述基板上形成的、在平面视图内包围上述传感器元件的多晶硅接合框；以及通过使其端面与上述多晶硅接合框的上表面接合，而隔着预定的空间覆盖在上述传感器元件的上方的盖；上述多晶硅接合框中未掺杂杂质。
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