[发明专利]气体激光振荡器以及测定激光气体置换量的方法

摘要

气体激光振荡器(11)，具备用于调整对气体室(13)的激光气体的供给的供给侧阀(35、37)、用于调整从气体室(13)的激光气体的排出的排出侧阀(43、45、47)、用于测定气体室(13)内的压力的气压测定器(29)、以及作为激光气体置换量测定装置工作的控制装置(15)。控制装置在对气体室(13)抽真空或进行吹洗时，间隔预先决定的时间间隔，通过气压测定器对气体室内的压力进行第一测定和第二测定，根据第一测定的结果与第二测定的结果，求出激光振荡动作时的单位时间的激光气体置换量。

主权项

1.一种气体激光振荡器(11)，其具备收容激光气体的气体室(13)、用于调整对该气体室(13)的激光气体的供给的供给侧阀(35、37)、用于调整从该气体室(13)的激光气体的排出的排出侧阀(43、45、47)以及用于测定该气体室(13)内的压力的气压测定器(29)，在对所述气体室(13)内的激光气体进行激励来产生激光的期间，控制所述供给侧阀(35、37)和所述排出侧阀(43、45、47)，来对所述气体室(13)内的激光气体进行置换，其特征在于，还具备激光气体置换量测定装置(15)，其在开放了所述排出侧阀(43、45、47)的状态下锁闭所述供给侧阀(35、37)来排出所述气体室(13)内的激光气体时，或者在之后进一步锁闭所述排出侧阀(43、45、47)并且开放所述供给侧阀(35、37)来吹洗所述气体室(13)时，间隔预先决定的时间间隔，通过所述气压测定器(29)对所述气体室(13)内的压力进行第一测定和第二测定，并且根据第一测定的结果与第二测定的结果求出激光振荡动作时的单位时间的激光气体置换量。