[发明专利]相变化存储器的垂直侧壁有效引脚结构及其制造方法有效
| 申请号： | 200710007245.7 | 申请日： | 2007-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101013738A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 龙翔澜 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L27/24;G11C11/56;G11C13/00;G11C16/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可编程电阻存储器，例如相变化存储器，其包含具有细长侧壁的有效引脚的存储元件。侧壁有效引脚包含可编程电阻材料，例如相变化材料。在本发明的一个目的中，描述形成存储单元的方法，其包含形成堆叠，此堆叠包含第一电极、绝缘层以及第二电极。此第一电极具有主表面，而此主表面具有周缘；此绝缘层覆盖第一电极的主表面的一部份；此第二电极与第一电极垂直分离以及覆盖绝缘层。位于绝缘层及第二电极的侧壁，设置于第一电极的主表面，并与第一电极的主表面有横向偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 相变 存储器 垂直 侧壁 有效 引脚 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种存储元件，包含：具有主表面的第一电极，该主表面具有周缘；第二电极，与该第一电极垂直分离，并且具有侧壁，该第二电极的该侧壁的至少一部份位于该主表面上，而与该第一电极的该周缘有横向偏移；绝缘元件，配置于该第一及第二电极之间，该绝缘元件覆盖该第一电极的该主表面的至少一部份，该绝缘元件具有侧壁，该绝缘元件的该侧壁位于该主表面上，而与该第一电极的该周缘具有横向偏移；以及存储元件，包含可编程电阻材料，该存储元件具有的侧壁部分，沿着该绝缘元件的该侧壁延伸，并接触该第二电极的该侧壁，该存储元件的该侧壁部份具有底表面，该底表面与该第一电极的该主表面接触。
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