[发明专利]磁感应器

摘要

磁感应器包括结合在一起以形成正方形石英衬底(2)上的GMR元件(11－14，21－24)的磁阻元件(31)和永久磁铁膜(32)，其中所述永久磁铁膜成对并连接到所述磁阻元件的两端，以便通过相对于石英衬底的四条边适当排列GMR元件来实现X轴磁感应器和Y轴磁感应器，这里，磁阻元件的被钉扎层(PD)的磁化方向与磁阻元件的纵向方向或永久磁铁膜的磁化方向成45°的规定角。因此，即使当强磁场作用时，可以可靠抑制GMR元件的桥连接的偏移变化；并且因此可以显著提高对强磁场的阻抗特性。

主权项

1.一种磁感应器，包括：具有近似正方形形状的石英衬底(2)；第一X轴GMR元件(11，12)，它设置在垂直于X轴的石英衬底的第一边的附近，并相对该第一边倾斜成规定角度；第二X轴GMR元件(13，14)，它设置在与该第一边相对并且垂直于X轴的石英衬底的第二边附近，并相对该第二边倾斜成规定角度；第一Y轴GMR元件(21，22)，它设置在垂直于Y轴的石英衬底的第三边附近，并与该第三边成规定角度；第二Y轴GMR元件(23，24)，它设置在与该第三边相对并且垂直于Y轴的石英衬底的第四边附近，并与该第四边成规定角度；第一对永久磁铁膜(32)，连接到该第一X轴GMR元件的两端，并与该石英衬底的第一边平行纵向排列；第二对永久磁铁膜(32)，连接到该第二X轴GMR元件的两端，并与该石英衬底的第二边平行纵向排列；第三对永久磁铁膜(32)，连接到该第一Y轴GMR元件的两端，并与该石英衬底的第三边平行纵向排列；以及第四对永久磁铁膜(32)，连接到该第二Y轴GMR元件的两端，并与该石英衬底的第四边平行纵向排列。