[发明专利]微开关器件及其制造方法有效
| 申请号： | 200710007380.1 | 申请日： | 2007-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN101013640A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 阮俊英;中谷忠司;上田知史 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H49/00;H01L29/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微开关器件及其制造方法。所述微开关器件包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧；一对固定接触电极，与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域。所述可移动驱动电极膜比所述可移动接触电极膜薄。所述固定驱动电极与所述固定部接合，且所述固定部与所述基部接合。 | ||
| 搜索关键词： | 开关 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微开关器件，包括：基部；固定部，与所述基部接合；可移动部，沿所述基部延伸，并具有固定至所述固定部的固定端；可移动接触电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧上；一对固定接触电极，每个固定接触电极与所述固定部接合，并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域；可移动驱动电极膜，设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧上，其中所述可移动驱动电极膜比所述可移动接触电极膜薄；以及固定驱动电极，具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域，所述固定驱动电极与所述固定部接合。
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