[发明专利]用于压印的模具、使用所述模具生产微细结构的工艺、以及生产所述模具的工艺有效
| 申请号： | 200710007972.3 | 申请日： | 2007-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101013261A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 中村高士;田透 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 赵培训 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于压印的模具，其能够在衬底表面形成具有比模具更大面积的接缝减少或无缝的图案，它包括：第一图案区域，包括多个第一凹陷；以及第二图案区域，包括多个第二凹陷，用于用作对准标记。第一图案区域和第二图案区域在其最外侧表面具有相等的高度。第一凹陷和第二凹陷具有不同的深度。第一图案区域和第二图案区域具有相等的循环间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压印 模具 使用 生产 微细 结构 工艺 以及 | ||
【主权项】：
1.一种用于压印的模具，包括：第一图案区域，包括多个第一凹陷；以及第二图案区域，包括多个第二凹陷，所述第二凹陷用作对准标记，其中，所述第一图案区域和所述第二图案区域在其最外侧表面处具有相等的高度，其中，第一凹陷和第二凹陷具有不同的深度，以及其中，所述第一图案区域和所述第二图案区域具有相等的循环间隔。
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