[发明专利]固态摄像装置

摘要

一种背面入射型的固态摄像装置，其具有半导体衬底、半导体层、和光接收部分。半导体衬底具有电阻率ρ₁。半导体层位于半导体衬底的表面上。半导体层具有电阻率ρ₂。其中，ρ₂＜ρ₁。光接收部分位于半导体层中。在该固态摄像装置中，在半导体衬底的内部或者半导体层的内部对从摄像对象到半导体衬底的背面上的入射光进行光电转换，并且光接收部分对通过光电转换产生的信号电荷进行接收，从而对摄像对象进行摄像。

主权项

1.一种固态摄像装置，包括：具有第一电阻率的半导体衬底；位于所述半导体衬底的第一表面上的半导体层，其具有小于所述第一电阻率的第二电阻率；以及位于所述半导体层中的光接收部分，其中在所述半导体衬底的内部或者所述半导体层的内部对从摄像对象到所述半导体衬底的第二表面上的入射光进行光电转换，其中所述第二表面在所述第一表面的相对侧上，并且所述光接收部分对通过所述光电转换产生的电荷进行接收，从而对所述摄像对象进行摄像。