[发明专利]一种面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法无效
| 申请号： | 200710009307.8 | 申请日： | 2007-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101118302A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 孙志军 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法，涉及一种集成光波导。提供一种基于金属微纳结构的垂直型面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法。面向集成光路的长程表面等离激子波导设有衬底，在衬底上设有垂直竖立的金属层，在金属层两侧分别设有一介质层，形成介质层—金属层—介质层3层结构。在衬底上制备支撑材料层，将支撑材料层刻蚀成一个断面垂直的台阶；在台阶断面连续淀积介质层、金属层和介质层。去除支撑材料，得面向集成光路长程表面等离激子波导。也可在介质层—金属层—介质层3层结构的外侧淀积外介质层材料，即得另一种集成光路长程表面等离激子波导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 集成 长程 表面 激子 波导 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种面向集成光路的长程表面等离激子波导，其特征在于设有衬底，在衬底上设有垂直竖立的金属层，在金属层两侧分别设有一介质层，形成介质层-金属层-介质层3层结构。
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