[发明专利]激光溅射电离冷聚焦直交式飞行时间质谱仪有效
申请号: | 200710009920.X | 申请日: | 2007-12-03 |
公开(公告)号: | CN101170042A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 杭纬 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | H01J49/40 | 分类号: | H01J49/40;H01J49/26 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人: | 马应森;刘勇 |
地址: | 361005福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 激光溅射电离冷聚焦直交式飞行时间质谱仪,涉及一种质谱仪。提供一种使激光电离源与质谱分析器匹配,去除干扰峰,谱图清晰,对固体样品无标样分析的激光溅射电离冷聚焦直交式飞行时间质谱仪。设激光器、聚焦透镜组、进样探杆、二维移动平台、离子源腔体、主腔体、采样锥、射频多极杆、截取锥、离子透镜组和飞行时间质量分析器。激光器和聚焦透镜组设于离子源腔体外,进样探杆、二维移动平台和采样锥设于离子源腔体内;离子源腔体腔壁上设有石英窗口、真空抽口及阀门;主腔体腔壁上设真空抽口,截取锥、射频多级杆和离子透镜组设于主腔体内;进样探杆、二维移动平台和采样锥与截取锥、射频多级杆和离子透镜组同轴。 | ||
搜索关键词: | 激光 溅射 电离 聚焦 直交式 飞行 时间 质谱仪 | ||
【主权项】:
1.激光溅射电离冷聚焦直交式飞行时间质谱仪,其特征在于设有激光器、聚焦透镜组、进样探杆、二维移动平台、离子源腔体、主腔体、采样锥、射频多极杆、截取锥、离子透镜组和飞行时间质量分析器;激光器和供激光器激光聚焦的聚焦透镜组设于离子源腔体的外部,进样探杆、固连在进样探杆前端的二维移动平台和位于二维移动平台前方的采样锥依次设于离子源腔体内部,离子源腔体与主腔体固连相通,主腔体与飞行时间质谱分析器固连相通;离子源腔体腔壁上设有供聚焦后的激光射入的石英窗口、供抽真空用的真空抽口及供进样探杆和二维移动平台进出的阀门;主腔体腔壁上设有供抽真空用的真空抽口,截取锥、射频多级杆和离子透镜组依次设于主腔体内部;离子源腔体内的进样探杆、二维移动平台和采样锥与主腔体内的截取锥、射频多级杆和离子透镜组处于同一中轴线上。
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