[发明专利]真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置

摘要

一种真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置属于自动控制领域。本发明装置包括上位机、协议转换器、温度控制器、DA转换模块、真空计、质量流量控制器和可编程控制器，当可编程控制器的个数大于1时还包括适配器。上位机分别与可编程控制器、协议转换器相连，当可编程控制器的个数大于1时通过适配器与上位机相连，协议转换器分别与温度控制器、DA转换器相连，DA转换器与真空计、质量流量控制器相连。上位机嵌入了系统登录模块、控制系统界面模块、串口通信模块、温度控制模块、流量控制模块、真空度采集模块和数据存储模块。本发明通讯、数据处理能力强；控制系统的结构易于调整、升级，抗干扰能力强；通用性强。

主权项

1.一种真空感应化学气相沉积/渗透系统分布式控制装置，其特征在于包括上位机、协议转换器、温度控制器、DA转换模块、真空计、质量流量计和可编程控制器，当可编程控制器的个数大于1时还包括适配器，上位机分别与可编程控制器、协议转换器相连，当可编程控制器的个数大于1时，可编程控制器通过适配器与上位机相连，协议转换器分别与温度控制器、DA转换器相连，DA转换器与真空计、质量流量控制器相连。