[发明专利]单晶电磁场有效

专利信息
申请号: 200710010418.0 申请日: 2007-02-14
公开(公告)号: CN101245487A 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 张承臣;李恒盛;吴文奎;胡占林;李朝朋;邵贵成 申请(专利权)人: 抚顺隆基磁电设备有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 抚顺宏达专利代理有限责任公司 代理人: 李壮男
地址: 113122辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种在半导体材料生产中给单晶炉配套的单晶电磁场,由轭板、导磁板、磁极、极头组成,两轭板一端通过导磁板连接,轭板的另一端连接磁极,两磁极相对应,在两磁极的相对面有极头;两轭板、导磁板和两个磁极构成一个C形框架,两轭板分别固定在两个立柱上,两立柱之间有连接梁连接;在导磁板上连接有冷却系统。本发明磁场稳定、可调;可提高材料利用率,提高硅片性能指标。可以对已有单晶炉进行改造,达到提高单晶质量的要求;可对不同结构的单晶炉进行设计,满足不同用户要求;相对结构简单,生产成本较低。
搜索关键词: 电磁场
【主权项】:
1. 一种单晶电磁场,其特征是:它由轭板(6)、导磁板(4)、磁极(7)和极头(8)组成,两轭板(6)一端通过导磁板(4)连接,轭板(6)的另一端连接磁极(7),两磁极(7)相对应,在两磁极(7)的相对面有极头(8);两轭板(6)、导磁板(4)和两个磁极(7)构成一个C形框架,两轭板(6)分别固定在两个立柱(3)上,两立柱(3)之间有连接梁(2)连接;在导磁板(4)上连接有冷却系统(1)。
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