[发明专利]大气压冷等离子体低温合成锐钛矿相纳米二氧化钛粉体的方法

摘要

一种大气压冷等离子体低温合成锐钛矿相纳米二氧化钛粉体的方法，其特征是采用一端封口且放电段管壁布有分流孔的不锈钢管作为高压电极的同轴式介质阻挡放电反应器，一路携带有TiCl₄的气体与一路作为氧源的氧气或空气分别流入放电区，其中一路气体从高压电极的分流孔均匀流入放电区，另一路气体与稀释气混合后直接流入放电区，在大气压下放电产生冷等离子体，即可直接获得结晶度高的二氧化钛纳米粉体，其纳米晶颗粒均匀且粒径分布在10～30nm，具有单一的锐钛矿相结构。该方法采用的TiCl₄与O₂的摩尔比为0.002～0.5，氩、氦或氮稀释气的摩尔百分含量为50％～90％。该方法不需要真空装置和高温热处理，在大气压和低温下可一步直接获得锐钛矿相二氧化钛纳米粉体。

主权项

1.一种大气压冷等离子体低温合成锐钛矿相纳米二氧化钛粉体的方法，其特征是：采用一端封口且放电段管壁布有分流孔(2)的不锈钢管作为高压电极(1)的同轴式介质阻挡放电反应器；一路携带有TiCl4的气体与一路作为氧源的氧气或空气分别流入放电区(3)，其中一路气体从高压电极(1)的分流孔(2)均匀流入放电区(3)，另一路气体与稀释气混合后直接流入放电区(3)；在大气压下放电产生冷等离子体，即可直接沉积产生锐钛矿相二氧化钛纳米粉体。