[发明专利]一种低温等离子体诊断装置无效
| 申请号： | 200710011244.X | 申请日： | 2007-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101056493A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 王庆;巴德纯 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 沈阳东大专利代理有限公司 | 代理人： | 梁焱 |
| 地址： | 110004辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种低温等离子体诊断装置，特别涉及等离子体诊断技术，针对现有同类技术抗干扰能力弱、实时性差而公开一种低温等离子体诊断装置；该装置由朗缪尔探针、电源信号产生电路、信号采集电路及电源组成；朗缪尔探针与信号采集电路相连，信号采集电路和电源信号产生电路相连，电源分别与电源信号产生电路、信号采集电路相连；本装置的优点是对等离子体的干扰小，可以进行实时测量，体积小，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 等离子体 诊断 装置 | ||
【主权项】：
1.一种低温等离子体诊断装置，其特征在于该装置包括朗缪尔探针、电源信号产生电路、信号采集电路及电源；朗缪尔探针与信号采集电路相连，信号采集电路和电源信号产生电路相连，电源分别与电源信号产生电路、信号采集电路相连。
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