[发明专利]智能热盘温度控制器及其温度控制方法无效
| 申请号： | 200710012652.7 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN101377686A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵乃霞 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种智能热盘温度控制器及其控制方法，温度控制器具有主控制电路，其输入端通过温度检测电路接有热盘温度传感器，输出端通过温度控制电路接至热盘加热装置，主控制电路还接有人机接口电路，所述主控制电路以单片机为控制核心，其内部存有热盘温度控制程序；本发明方法包括以下步骤：上电后系统初始化配置及参数；读取存储器内容；根据需要修改目标温度及各种参数；主控制电路通过温度检测电路获取热盘的当前实际温度；当前实际温度与目标温度时行比较，得到温度误差；温度误差进行PID调节，使实际温度保持在目标温度。本发明温度控制精确、恒定、响应迅速，重复开机时温度的重复性一致，能够准确跟踪工艺过程，提高成品率，调试方便省时。 | ||
| 搜索关键词： | 智能 温度 控制器 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种智能热盘温度控制器，其特征在于:具有主控制电路，其输入端通过温度检测电路接有热盘温度传感器，输出端通过温度控制电路接至热盘加热装置，主控制电路还接有人机接口电路，所述主控制电路以单片机为控制核心，其内部存有热盘温度控制程序。
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