[发明专利]一种光学谐振腔中的腔镜防污染方法及专用装置无效
申请号: | 200710012766.1 | 申请日: | 2007-09-07 |
公开(公告)号: | CN101383475A | 公开(公告)日: | 2009-03-11 |
发明(设计)人: | 张增宝;金玉奇;张治国;刘嵚;何新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | H01S3/08 | 分类号: | H01S3/08;H01S3/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 马 驰;周秀梅 |
地址: | 116023*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及高功率氧碘化学激光器,具体地说是一种光学谐振腔中的腔镜防污染方法及专用装置,在氧碘化学激光器的光腔盒与氧碘混合喷管间设置磁电晕除尘器,采用低气压负直流高压磁增强电晕放电,对穿越光腔盒入口的污染颗粒进行荷电及污染物的扑集净化,达到腔镜防污染的目的。本发明采用腔镜防污染设置,在不妨碍激光器正常运行的前提下,有效防止上述污染颗粒对腔镜的污染,从而实现保护光学元件提高激光输出光束质量的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 谐振腔 中的 腔镜防 污染 方法 专用 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种光学谐振腔中的腔镜防污染方法,其特征在于:在氧碘化学激光器的光腔盒与氧碘混合喷管间设置磁电晕除尘器,采用低气压负直流高压磁增强电晕放电,对穿越光腔盒入口的污染颗粒进行荷电及污染物的扑集净化,达到腔镜防污染的目的。
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