[发明专利]一种新型真空表面强化技术和设备无效
| 申请号： | 200710012930.9 | 申请日： | 2007-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101122004A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王亮;李杨;孙俊才;吴雪敏 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 大连八方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 卫茂才 |
| 地址： | 116026辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明的一种新型真空表面强化技术和设备属于等离子体表面改性的技术领域。该设备包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统、冷却系统、载物台和绝缘体，其特征在于，还包括一个位于真空炉内的双层圆筒，该双层圆筒通过绝缘体与炉体电绝缘，载物台位于双层圆筒内，并与炉体电绝缘，供电系统的阴极与双层圆筒电连接。对工件表面进行强化处理时，将工件放于载物台上，接通直流高压电源后，炉体作为电源阳极，双层圆筒作为电源阴极，利用双层圆筒的空心阴极效应对工件表面进行渗氮处理。本发明的有益效果是：工件表面渗氮速度快，工艺简单，保持工件表面原有光洁度，工件表面化合物层厚、致密度高，设备简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 表面 强化 技术 设备 | ||
【主权项】：
1.一种新型真空表面强化设备，包括真空炉、进气系统(12)、抽真空系统(13)、供电系统(14)、测温系统(15)、冷却系统、载物台(6)和绝缘体(7)，进气系统(12)通过进气口(8)接入真空炉内，抽真空系统(13)接入真空炉的炉体夹层空气室内，供电系统(14)的阳极通过阳极接口(5)与真空炉炉体电连接，测温系统(15)与待处理的工件(1)连接，冷却系统与真空炉炉体连接，其特征在于，该强化设备还包括一个双层圆筒，该双层圆筒位于真空炉内，通过绝缘体(7)与真空炉炉体电绝缘，该双层圆筒由小圆筒(2)和大圆筒(3)组成，小圆筒(2)位于大圆筒(3)内，小圆筒(2)与大圆筒(3)的间距为10mm，小圆筒上平均分布直径为5mm～6mm的孔洞，相邻两孔洞的间距为30mm～40mm，载物台(6)位于小圆筒(2)内，并通过绝缘体(7)与真空炉炉体电绝缘，供电系统(1 4)的阴极通过阴极接口(4)与大圆筒(3)电连接。
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