[发明专利]超声波气化器无效
| 申请号： | 200710013628.5 | 申请日： | 2007-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101077492A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 陈凯;甘治平;马立云;金良茂;王友乐;周建民 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | B05B17/06 | 分类号： | B05B17/06;C03C17/00;C23C16/448 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于化学气相沉积(CVD)镀膜前驱液的超声波气化器，尤其是用于浮法玻璃在线化学气相沉积工艺中的前驱液的气化器。它由雾化罐1、镀膜前驱液罐5和载气罐3组成，镀膜前驱液罐5和载气罐3通过所连接的管道分别与雾化罐相连，在雾化罐的底部设有超声波雾化器2，载气储罐内的载气通过管道4a输送至雾化腔底部，雾化罐顶部设有气体出口，并通过管道连接到一个加热气化装置7，加热气化装置的另一端通过管道连接到气体流量计10，流气体计量通过管道连接至反应器11。本发明的优点是在常温常压下雾化镀膜前驱液，避免不必要的浪费，从而节约成本，能够提供一种高效率、大流量、无液滴的优质气化镀膜前驱液，并能够输送状态下精确的控制气体的压力和温度。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 气化 | ||
【主权项】：
1、一种超声波气化器，它由雾化罐、镀膜前驱液罐和载气罐组成，镀膜前驱液罐和载气罐通过所连接的管道分别与雾化罐相连，其特征在于：在雾化罐内腔的底部设有超声波雾化器，雾化罐顶部设有气体出口，并通过管道连接到加热气化装置，加热气化装置的另一端通过管道连接气体流量计，气体流量计通过管道连接至反应器。
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