[发明专利]CVD金刚石涂层刀具的微波等离子退涂、重涂方法

摘要

本发明提供了一种CVD金刚石涂层刀具的微波等离子退涂、重涂方法，包括以下步骤：(1)将现有微波等离子真空室下部另外加工出一个氧气入口；(2)将磨损后的CVD金刚石涂层刀具固定于微波等离子真空室内，使电磁线圈断电，将微波等离子真空室抽真空后输入氧气和2.45GHz微波等离子束，使刀具的金刚石涂层燃烧形成微粒；冷却后清除微粒，退涂过程完成；(3)将退涂后的刀具清洁处理后，置入微波等离子真空室采用现有微波等离子CVD工艺生长出金刚石涂层，完成重涂翻新过程。本发明利用微波等离子真空室，输入氧气进行CVD金刚石刀具的退涂；不输入氧气时进行CVD金刚石刀具的重涂，简单方便、退涂重涂效率高，重涂翻新后刀具的使用寿命长。

主权项

1.一种CVD金刚石涂层刀具的微波等离子退涂、重涂方法，其特征是：包括以下步骤：(1)将现有微波等离子真空室改造，在其下部另外加工出一个氧气入口；(2)将磨损后的CVD金刚石涂层刀具固定于改造后的微波等离子真空室内，使电磁线圈断电，将微波等离子真空室抽真空后，通过其氧气入口输入氧气，同时通过其顶部的微波等离子束入口输入2.45GHz微波等离子束，使刀具的金刚石涂层在微波等离子真空室内加热、氧化至完全燃烧，在刀具基体上形成微粒；然后取出刀具，冷却后清除微粒，露出刀具基体，退涂过程完成；(3)将退涂后的刀具清洁处理后，再次置入微波等离子真空室，关闭其氧气入口，使电磁线圈通电，采用现有微波等离子CVD工艺，在退涂后的刀具基体表面上生长一层金刚石涂层，完成重涂翻新过程。