[发明专利]化学气相反应过程动态在线分析系统无效
| 申请号： | 200710017429.1 | 申请日： | 2007-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101013119A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 成来飞;张立同;徐永东;董宁;刘永胜;王东;殷小玮 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N31/00 | 分类号： | G01N31/00;G01N35/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 黄毅新 |
| 地址： | 710072陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学气相反应过程动态在线分析系统，其特征在于：包括磁悬浮天平、红外热成像仪、色谱仪和质谱仪，磁悬浮天平固定在气相反应炉的正上方，磁悬浮天平的挂钩通过金属绳与基体连接，在气相反应炉的底部固连一单晶锗，红外热成像仪的摄影头透过单晶锗与基体相向放置，出气口上依次串联有分子泵和六通阀，气相色谱仪通过六通阀与氦气源连通，在六通阀后，通过第一电磁阀和第二电磁阀并联有质谱仪和真空泵。由于利用磁悬浮天平和红外热成像仪，在化学气相渗透过程中实现了基体的重量和温度变化实时测量，为研究化学气相反应过程机理提供了翔实的数据。气相色谱仪和质谱仪可同时对尾气进行监测。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 相反 过程 动态 在线 分析 系统 | ||
【主权项】：
1、一种化学气相反应过程动态在线分析系统，其特征在于：包括磁悬浮天平、红外热成像仪、色谱仪和质谱仪，磁悬浮天平固定在气相反应炉的正上方，磁悬浮天平的挂钩通过金属绳与基体连接，在气相反应炉的底部固连一单晶锗，红外热成像仪的摄影头透过单晶锗与基体相向放置，出气口上依次串联有分子泵和六通阀，气相色谱仪通过六通阀与氦气源连通，在六通阀后，通过第一电磁阀和第二电磁阀并联有质谱仪和真空泵。
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