[发明专利]白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法及其装置

摘要

本发明涉及一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法及装置。其方法是将一束白光分别投射到样品和参考镜表面，两表面反射光再合成一束光投射在CCD相机感光面形成干涉条纹；通过改变样品和物镜的间距，在感光面上形成多幅干涉图像，输入计算机后得到振幅调制信号与光源的光谱分布相关的余弦函数的分布，通过非等间隔时间采样方法采得若干振幅调制信号的离散值，进而求得样品表面的相对高度。测量装置由光源、半反半透分光镜、CCD相机、干涉显微物镜和样品台等组成，分光镜将光源光束分为反射和透射两束光，CCD相机和干涉显微物镜分别设在其透射和反射光轴方向上，CCD相机与计算机控制连接，干涉显微物镜可由计算机控制做上下移动。

主权项

1、一种白光干涉测量样品表面形状精细分布的方法，其特征在于：将一束白光分别投射到试验样品和干涉显微物镜的参考镜表面，从这两个表面反射的两束光再合成一束光投射至成像系统，在成像系统的CCD相机感光面形成两个叠加像的干涉条纹；通过改变样品和干涉显微物镜之间的距离，在CCD相机感光面形成多幅干涉图像，输入计算机后得到一系列白光干涉条纹信号，进而得到振幅调制信号与光源的光谱分布相关的余弦函数的包罗线分布，通过非等间隔时间采样方法采集到若干个振幅调制信号的离散值，根据采集到的振幅调制信号的离散值利用插值算法确定包罗线的中心位置，进而解析出试验样品表面的相对高度。