[发明专利]用于电子回旋共振等离子体源的分布式永磁磁场装置

摘要

本发明公开了一种用于电子回旋共振等离子体源的分布式永磁磁场装置，主要解决现有技术能耗高、体积大、均匀性差的问题。整个装置包括磁铁200，屏蔽板301、无磁模板302，该无磁模板上设有数个梯形固定孔201和一个圆形固定孔202，梯形固定孔由圆心向外在半径R₁、R₂、R₃处分别以角度θ₁、θ₂、θ₃等间隔分布，且θ₁＞θ₂＞θ₃，每个磁铁嵌入无磁模板的固定孔中，与固定孔紧配合，磁铁底面与模板底面处于同一平面，通过环形相间排列形成大面积高强度永磁磁场，模板下方设有屏蔽板，该屏蔽板通过磁铁的吸力与模板固定为一体，形成磁铁、无磁模板、屏蔽板的组合整体。具有均匀性好、能耗低、体积小、正面磁场强度高，安装组合简单的优点，用于电子回旋共振等离子体源设备。

主权项

1.一种用于电子回旋共振等离子体源的分布式永磁磁场装置，包括磁铁，其特征在于磁铁(200)固定在无磁模板(302)上，通过环形相间排列形成大面积高强度永磁磁场，无磁模板下方设有屏蔽板(301)，该屏蔽板通过磁铁的吸力与无磁模板固定为一体。