[发明专利]聚甲基丙烯酸甲酯－TiO2杂化材料的制备及微细图形制作

摘要

本发明公开了一种具有紫外感光特性的聚甲基丙烯酸甲酯－TiO₂有机无机杂化材料的制备方法及其在微细图形制作中的应用。首先以钛酸丁酯为前驱物，苯酰丙酮为化学修饰剂，乙酰丙酮为稳定剂，乙醇为溶剂制备出二氧化钛感光性溶胶，然后加入甲基丙烯酸甲酯和引发剂过氧化二苯甲酰，通过溶胶－原位聚合法，可得到具有紫外感光特性的聚甲基丙烯酸甲酯－TiO₂有机无机杂化材料。聚甲基丙烯酸甲酯－TiO₂有机无机杂化材料用氯仿稀释后，经浸渍提拉法可以在单晶硅片上得到厚度在8.42－30.06um的透明薄膜。采用紫外光掩膜法可以在薄膜上制作出清晰规整的微细图形，其工艺流程简单、无须高温操作。

主权项

1.一种具有紫外感光特性的聚甲基丙烯酸甲酯-TiO2有机无机杂化材料的制备方法，其特征在于，该方法按以下步骤进行：步骤1，制备组份a-TiO2感光溶胶：将苯酰丙酮加入无水乙醇中搅拌使其完全溶解，然后添加乙酰丙酮和钛酸丁酯，其中苯酰丙酮，乙酰丙酮，钛酸丁酯和乙醇的物质量之比为0.6～1.0∶0.2～0.4∶1.0∶8～20，密封后在磁力搅拌器上搅拌2～5小时，即得到TiO2感光溶胶，选取组份b为可聚合单体：甲基丙烯酸甲酯，选取组份c为引发剂：过氧化二苯甲酰，选取组份d为溶剂：氯苯；步骤2，将上步选取好的组份a、b、c混合搅拌，其中a与b的质量比为1∶0.75～1∶2，c与b的质量比为1∶150～1∶75，搅拌升温至75℃～85℃，反应2～3小时，在继续搅拌下加入组份d，其加入量不超过组份总质量的20％wt，冷却至常温，即得到聚甲基丙烯酸甲酯-TiO2有机无机杂化材料。