[发明专利]光敏特性的二氧化锗基有机－无机复合材料的制备方法

摘要

光敏特性的二氧化锗基有机－无机复合材料的制备方法，以二氧化锗作为无机基质和有机改性硅酸盐(含光敏基团)为有机基质的低温有机－无机复合光敏材料，通过基于其有机光敏功能基团以实现具有光敏特性同时集光波导特性于一身的有机－无机复合光电子材料。采用改进溶胶－凝胶技术结合低温有机－无机合成技术制备具有合成温度低、工艺要求简单、而且重复性好等优点。本发明同时通过该类低温复合材料的紫外光敏特性结合掩模技术或其它激光技术可进行低成本的光波导器件或其它微光器件的制作。特别是基于在低温下具有数微米厚、折射率可调和紫外光敏特性的单层光学质量波导薄膜，所以非常利于实现微纳光电子器件的集成化和批量制作。

主权项

1.光敏特性的二氧化锗基有机-无机复合材料的制备方法，其特征在于：1)首先按1∶4的摩尔比将异丙醇锗和2-甲氧基乙醇混合并搅拌均匀作为溶液A；按1∶3∶3的摩尔比将3-(三甲氧基硅烷基)丙基甲基丙烯酸酯、异丙醇和去离子水混合搅拌均匀水解后作为溶液B；按1∶4∶4的摩尔比将甲基三乙氧基硅烷、乙醇和去离子水混合，然后在混合液中按甲基三乙氧基硅烷∶盐酸为100∶1的摩尔加入盐酸作为催化剂搅拌均匀后作为溶液C；2)然后将20-40摩尔份数的溶液A、30-60摩尔份数的溶液B和0-40摩尔份数的溶液C混合在室温下搅拌，得到均匀含硅锗的低温有机-无机复合基质母液；3)将有机-无机复合基质母液总重量3.0-4.5％的双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦光引发剂加入到有机-无机复合基质母液中，并在暗室和室温下搅拌均匀得到悬浊液；4)利用旋转涂层工艺在转速为每分钟2500-4000转的情况下将上述得到的悬浊液沉积在玻璃基片上，然后将沉积好的薄膜样品放在80-120℃温度下处理10-20分钟，即可得到光敏特性的二氧化锗基有机-无机复合薄膜材料。