[发明专利]双端加热式微波功率传感器无效
| 申请号： | 200710019338.1 | 申请日： | 2007-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN101029912A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 黄从朝;黄庆安;廖小平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 双端加热式微波功率传感器是一种利用热对称平衡的结构实现微波功率精确测量的新型功率传感器。该传感器以GaAs为衬底(1)，在衬底(1)上有一层AlGaAs薄膜(2)，在AlGaAs薄膜(2)上表面设有一组串联GaAs/AuGe热电偶形成的热电堆(3)，热电堆(3)的两个输出端分别为第一输出端(pad1)和第二输出端(pad2)；在热电堆(3)左端附近的AlGaAs薄膜(2)上设有两个TaN微波终端负载电阻电阻(4)，在热电堆(3)右端附近的AlGaAs薄膜(2)上设有两个并联的TaN直流发热电阻(5)，在两个微波终端负载电阻(4)的左边的GaAs衬底(1)上是第一共面波导(6)作为待测的微波信号输入传输线，共面波导(7)与两个并联直流发热电阻(5)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 式微 功率 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种双端加热式微波功率传感器，其特征在于该传感器以GaAs为衬底(1)，在衬底(1)上有一层AlGaAs薄膜(2)，在AlGaAs薄膜(2)上表面设有一组串联GaAs/AuGe热电偶形成的热电堆(3)，热电堆(3)的两个输出端分别为第一输出端(pad1)和第二输出端(pad2)；在热电堆(3)左端附近的AlGaAs薄膜(2)上设有两个TaN微波终端负载电阻电阻(4)，在热电堆(3)右端附近的AlGaAs薄膜(2)上设有两个并联的TaN直流发热电阻(5)，这4个TaN直流发热电阻(5)是完全一样的，在两个微波终端负载电阻(4)的左边的GaAs衬底(1)上是第一共面波导(6)作为待测的微波信号输入传输线，第一共面波导(6)与两个微波终端负载电阻(4)连接而且两者是阻抗匹配的；在两个直流发热电阻(5)的右边的GaAs衬底(1)上是第二共面波导(7)作为直流信号的通路，第二共面波导(7)与两个并联直流发热电阻(5)连接，第一共面波导(6)、第二共面波导(7)是完全一样的；在第二共面波导(7)的右边的直流回路中还有一个直流开关(K)和直流可调电源(E)，直流开关(K)和直流可调电源(E)与两个并联TaN直流发热电阻(5)、第二共面波导(7)组成一个直流回路。
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