[发明专利]一种透明石英扩散反应炉管的制造方法无效
| 申请号： | 200710020024.3 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101012099A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 成士林;谭锦和 | 申请（专利权）人： | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B15/14;C03B17/04;H01L21/22;H01L21/3115;H01L21/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 22230*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种透明石英扩散反应炉管的制造方法，将原料投入到连熔炉的钨坩埚内进行熔炼，炉内工作温度为2400℃～2500℃，钨坩埚底部挡料台向上的高温区的高度为750mm～850mm，采用自动下料，保证炉内料层高度1200mm，作业保护气体为氮气和氩气的混合气体，氮气和氩气比例为1∶3，采用拉管机连续拉制，并采用量程为0～320mm、精度为0.001mm的激光测径仪进行管径和管壁测量。挡料台的底平面至炉体底部锆套上平面之间的距离为石英管的成型距离，成型距离为40mm＜h＜60mm。使用该工艺技术方法生产φ100mm～φ260mm口径的透明石英扩散反应炉管可满足电子工业半导体器件用石英材料的要求。产品尺寸、公差及理化性能指标均达到国际行业执行标准，部分指标如尺寸公差可超过美国GE同类产品标准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 石英 扩散 反应 炉管 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明石英扩散反应炉管的制造方法，其特征在于：将原料投入到连熔炉(1)的钨钳锅(2)内进行熔炼，炉内工作温度为2400℃～2500℃，钨钳锅(2)底部挡料台(5)向上的高温区的高度为750mm～850mm，采用自动下料，保证炉内料层高度1200mm，作业保护气体为氮气和氩气的混合气体，氮气和氩气比例为1∶3，采用拉管机连续拉制，并采用量程为0～320mm、精度为0.001mm的激光测径仪进行管径和管壁测量。
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