[发明专利]法布里－珀罗型光纤压力传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 200710020040.2 | 申请日： | 2007-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101034028A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 贲玉红;戴霞娟;王鸣 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02;G01L1/24 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 210097*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种法布里－珀罗型光纤压力传感器，由硅片(1)、玻璃管(2)、光纤法兰盘(3)和光纤插头(4)构成，其特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针通过白色瓷管(5)固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里－珀罗腔。同时还公开了该传感器的制作方法。本发明传感器制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 法布里 珀罗型 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种法布里-珀罗型光纤压力传感器，由硅片(1)、玻璃管(2)、光纤法兰盘(3)和光纤插头(4)构成，其特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针(6)通过白色瓷管(5)固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。
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