[发明专利]人工晶体生长用晶体旋转机构无效
申请号: | 200710021528.7 | 申请日: | 2007-04-28 |
公开(公告)号: | CN101294299A | 公开(公告)日: | 2008-10-29 |
发明(设计)人: | 李留臣;冯䶮 | 申请(专利权)人: | 冯金生 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213200江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明是一种人工晶体生长用晶体旋转机构,特别涉及半导体硅单晶生长和锗单晶生长用的晶体旋转机构。包括担负信号传输的电刷环安装在支撑轴承的中间。将卷扬提升机构安装在本发明中空心旋转轴的上端,钢丝绳软轴通过空心旋转轴的中心孔,穿过安装在旋转轴下部的定心套的中心孔提拉生长人工晶体。提高人工晶体生长中旋转运动的稳定性、可靠性,并方便安装和维修,可广泛用于各类人工晶体生长设备中的晶体提拉生长运动。 | ||
搜索关键词: | 人工 晶体生长 晶体 旋转 机构 | ||
【主权项】:
1、一种人工晶体生长用晶体旋转机构,包括旋转轴5通过轴承座12、压盖11、旋紧螺母6、轴承7、轴承14和固定螺母15等,其特征在于固定螺母15固定螺母15安装在基座1上,起信号传输作用的电刷环4通过紧定螺钉13安装固定在旋转轴5上,并在两个支撑轴承之间,楔形带轮9通过键10带动旋转轴5旋转,旋转轴5上设置有走线槽8,电刷环4的输出线穿过走线槽8引到旋转轴5的上部,以便控制元器件。基座1上有一个开孔3,以方便安装与出线。安装在基座1上的拨叉2与电刷环4的定环(外环)接触,以便使电刷环的输入线相对固定。
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