[发明专利]一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法有效
| 申请号： | 200710021686.2 | 申请日： | 2007-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101050541A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 赵立奎;黄和明;刘新军;夏建保 | 申请（专利权）人： | 南京锗厂有限责任公司 |
| 主分类号： | C23G5/02 | 分类号： | C23G5/02;C23G1/24;B08B9/08 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 张苏沛 |
| 地址： | 211165*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法，它包括步骤，脱油：将初次使用的钢瓶装满丙酮，浸泡24小时，将丙酮抽出钢瓶，用高纯水清洗数次后，使清洗后的水进行测定，电导率必须与高纯水相等；脱水：用酒精加入到钢瓶内进行置换数次，抽出酒精，用高纯氮气吹扫，将钢瓶中的酒精吹光为止；抽真空：将钢瓶抽真空，使真空度低于10Pa；产品置换洗涤：将三氯氢硅产品压入钢瓶灌满封好，放置数日；检验：将钢瓶中三氯氢硅取样进行分析，经过数次产品交换洗涤，直到三氯氢硅达到产品要求为止，继续将装满合格的三氯氢硅的钢瓶放置3个月，再进行取样分析，直到钢瓶中的三氯氢硅达到标准，方可将钢瓶投入正常使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灌装 电子 级三氯氢 硅钢 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1、一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法，它包括以下步骤：脱油：将初次使用的钢瓶装满丙酮，浸泡24小时，将丙酮抽出钢瓶，用高纯水清洗数次后，使清洗后的水进行测定，电导率必须与高纯水相等；脱水：用酒精加入到钢瓶内进行置换数次，抽出酒精，用高纯氮气吹扫，将钢瓶中的酒精吹光为止；抽真空：将钢瓶抽真空，使真空度低于10Pa；产品置换洗涤：将三氯氢硅产品压入钢瓶灌满封好，放置数日；检验：将钢瓶中三氯氢硅取样进行分析，经过数次产品交换洗涤，直到三氯氢硅达到产品要求为止，继续将装满合格的三氯氢硅的钢瓶放置3个月，再进行取样分析，直到钢瓶中的三氯氢硅达到标准，方可将钢瓶投入正常使用。
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