[发明专利]双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 200710021764.9 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101046487A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;田涛 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器是一种利用热平衡从而测量微波的新型传感器。该传感器由第一共面波导传输线(1)接收待测微波信号，通过第一负载电阻(2)吸收此信号功率并转换为热量，该热量使设于负载电阻附近的第一热电堆(3)温度升高，从而产生电势差，通过第一压焊块(4)输出，而在传感器的右端，设有同样结构的负载电阻、热电堆和共面波导传输线，由电压源(11)供电，第二热电堆(7)同样产生电势差，通过第二压焊块(6)输出，调整电压源(11)的大小，使第二压焊块(6)的输出电压与第一压焊块(4)的输出电压相同，则第二负载电阻(8)上消耗的直流功率就等于待测微波功率，从而实现了微波功率的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 平衡 式微 电子机械 微波 功率 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于微电子机械技术的双热电堆平衡式微波功率传感器，其特征在于该传感器以砷化镓为衬底(12)，在砷化镓衬底(12)上有一层铝镓砷薄膜(13)，在铝镓砷薄膜(13)上面最左端为第一共面波导传输线(1)，第一共面波导传输线(1)接收微波信号，在它的终端是第一负载电阻(2)，在第一负载电阻(2)的右侧是第一热电堆(3)，第一热电堆(3)的两端与第一压焊块(4)连接，电势差通过第一压焊块(4)输出，在第一热电堆(3)的右侧是金属散热片(5)；在金属散热片(5)的右侧相对左侧对称的设有第二压焊块(6)、第二热电堆(7)、第二负载电阻(8)、第二共面波导传输线(9)；第二共面波导传输线(9)中的第一地线(91)第二地线(93)由导线连接，中心导线(92)与第一地线(91)第二地线(93)之间串联有开关(10)、压源(11)。
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