[发明专利]旋转圆柱磁控溅射靶无效
| 申请号： | 200710022233.1 | 申请日： | 2007-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101285171A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 孙德恩 | 申请（专利权）人： | 胜倍尔超强镀膜（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉;姚姣阳 |
| 地址： | 215122江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转圆柱磁控溅射靶，包括极靴、永磁体、中空圆柱靶材和芯轴，永磁体沿圆柱靶材的轴向嵌于极靴内，永磁体为长永久磁条和短永久磁条，极靴上设有用于安装长永久磁条和短永久磁条的定位槽，长永久磁条和短永久磁条分别安装在对应的定位槽内；长永久磁条和短永久磁条沿极靴圆周方向交替分布，从而组成多路条形磁体，长短永久磁条的极性相反，极化方向垂直于溅射阴极中心轴线，极靴两端的磁环与长短永久磁条构成闭合跑道形磁力线。本发明实现放电等离子体的低气压化、高密度化和均匀化，保证辉光放电时形成一个闭合的电子跑道，使得溅射稳定进行，膜层表面质量好、膜层致密；靶材消耗均匀，靶材利用率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 圆柱 磁控溅射 | ||
【主权项】：
1.旋转圆柱磁控溅射靶，包括极靴、永磁体、中空圆柱靶材和芯轴，永磁体沿圆柱靶材的轴向嵌于极靴内，其特征在于：所述永磁体为长永久磁条和短永久磁条，相应地，极靴上设有用于安装长永久磁条和短永久磁条的定位槽，长永久磁条和短永久磁条分别安装在对应的定位槽内；长永久磁条和短永久磁条沿极靴圆周方向交替分布，从而组成多路条形磁体，长短永久磁条的极性相反，极化方向垂直于溅射阴极中心轴线，极靴两端的磁环与长短永久磁条构成闭合跑道形磁力线。
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