[发明专利]基于激光加热的微器件温挤压成形方法及装置

摘要

基于激光加热的微器件温挤压成形方法及装置，涉及微塑性成形技术和微器件制造领域，其利用长脉冲红外激光准静态加载于微小毛坯，直至毛坯温度分布达到适合材料微温挤的范围。本发明包括激光加热系统、挤压模具、压力施加机构、进给机构、三维精密工作台(6)、支座和控制系统。超磁致伸缩微位移致动器和步进电机相结合实现进给和压力施加，完成。电热棒通电加热凹模，并由温控组件保持凹模的恒温。采用三维微动平台调整挤压头，再结合图像处理技术实现凸凹模的对中。装置中的温度、模具定位、位移、步进电机和三维精密工作台均由控制系统控制。本发明可控性好，效率高，可以降低变形抗力，增加材料流动的均匀性，提高难成形材料的成形性能。

主权项

1、基于激光加热的微器件温挤压成形方法，其特征在于：以长脉冲红外激光器发射激光，激光束通过外光路系统对微小毛坯进行非接触式准静态加载，利用激光的热作用对微小毛坯的加热和热传导，直至达到适合材料微温挤的温度范围；同时，压力施加机构和进给机构相结合，利用挤压头和凹模对毛坯进行微挤压，控制系统实行对模温、定位、位移、步进电机和三维精密工作台的控制，最终达到需要的加工质量要求。