[发明专利]一种气敏传感元件的电极部件及其制造方法无效
| 申请号： | 200710026326.1 | 申请日： | 2007-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN101126730A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 佘峻聪;朱联烽;许宁生;邓少芝;陈军 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种气敏传感元件的电极部件，包括基片和在该基片上形成的加热电极和气敏信号电极，加热电极和气敏信号电极位于基片的同一端面，加热电极和气敏信号电极之间不接触。该部件可应用于气敏传感元件上，制作成本低且制造效率高，且部件表面温度均匀性及加热效率高，从而可提高气敏传感元件性能。本发明同时还公开了该电极部件的制造方法及使用该电极部件的气敏传感元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感 元件 电极 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气敏传感元件的电极部件，包括基片和在该基片上形成的加热电极和气敏信号电极，其特征在于，所述加热电极和所述气敏信号电极位于所述基片的同一端面，所述加热电极和所述气敏信号电极之间不接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学，未经中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710026326.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单片机存储系统
- 下一篇：一种保温装饰板锚固件
