[发明专利]能判别角度旋转方向的角度测量方法及装置

摘要

本发明涉及一种基于激光自混合干涉和表面等离子体共振的能判别角度旋转方向的角度测量方法，包括：在被测物体表面设置一棱镜，一偏振方向平行于入射面的线偏振激光束从用作激光自混合干涉外腔反射镜的棱镜面垂直入射进入棱镜，经镀有金属膜的棱镜面反射后从棱镜射出，再用一光电探测器对出射光强进行探测；通过判断出射激光束的平均光强变化来确定被测物体旋转的方向；通过预先定标好的角度和光强间的对应关系，实现对被测物体旋转角度的测量。其测量装置包括光电探测器、信号采集处理模块、激光器、设置于被测物体表面的棱镜；本发明测量精度高，还可以判别角度的旋转方向。

主权项

1、一种能判别角度旋转方向的角度测量方法，其特征在于包括：——在被测物体表面设置一棱镜，所述棱镜的一面用作激光自混合干涉回馈激光的外腔反射镜，另一面镀有金属膜；——激光器输出的一偏振方向平行于入射面的线偏振激光束从用作外腔反射镜的棱镜面垂直入射进入棱镜，经镀有金属膜的棱镜面反射后从棱镜射出，再用一光电探测器对出射光强进行探测；所述镀有金属膜的棱镜面产生表面等离子体共振效应，将被测物体的旋转角度零参考点设置在表面等离子体共振峰的上升沿或下降沿的中部，被测物体旋转时，激光束入射镀有金属膜的棱镜面的入射角也不断变大或变小，则出射激光束的平均光强也不断变大或变小；——通过判断出射激光束的平均光强的变化来确定被测物体的旋转方向；——通过预先定标好的角度和光强间的对应关系，实现对被测物体旋转角度的测量。