[发明专利]金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 200710028834.3 | 申请日： | 2007-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101081557A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 林松盛;代明江;李洪武;朱霞高;侯惠君;林凯生 | 申请（专利权）人： | 广州有色金属研究院 |
| 主分类号： | B32B33/00 | 分类号： | B32B33/00;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/48 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法。纳米多层膜材料依次由基材(1)、过渡层I和纳米多层膜层II构成，过渡层I由金属层(2)、金属氮化物层(3)、金属碳氮化物层(4)构成，纳米多层膜层II由交替的金属碳化物层(5)和类金刚石层(6)构成。其制备方法：采用Ti、Cr、Zr或W靶，依次轰击清洗基材；沉积金属层；金属氮化物层；金属碳氮化物层；交替沉积金属碳化物/类金刚石纳米层。本发明提供的MeC/DLC纳米多层膜材料的显微硬度较高，达到HV2000～4500，摩擦系数低至0.05～0.25，附着力≥60N。且易于低温及大面积(D600mm×600mm)制备，具有生产效率高，成本低等优点。可显著改善金属材质工模具、零部件的表面性能，提高其使用寿命及加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 碳化物 金刚石 mec dlc 纳米 多层 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种金属碳化物/类金刚石纳米多层膜材料，其特征是依此由基材(1)、过渡层I和纳米多层膜层II构成，过渡层I由金属层(2)、金属氮化物层(3)、金属碳氮化物层(4)构成，纳米多层膜层II由交替的金属碳化物层(5)和类金刚石层(6)构成。
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