[发明专利]热丝与热蒸发气相沉积薄膜设备

摘要

本发明公开了一种材料制备的热丝与热蒸发气相沉积薄膜设备。该设备由激活源气体来沉积材料的热丝化学气相沉积激活部分组成，并与热蒸发部分形成组合；衬底支架相对热丝、或热蒸发丝，或热丝和热蒸发丝组合运动。

主权项

1、一种用于材料制备的化学气相沉积设备。为了将热丝化学气相沉积工艺和热蒸发沉积工艺合并为一个整体，使得在低压环境下相关的材料制备工艺可以连续化和简单化，而不需要将样品在工艺的途中经过大气环境从一个真空室转移到另一个真空室；也使得热丝化学气相沉积和热蒸发沉积两种工艺可以同时工作，组合成新的制备工艺。本发明的技术方案是在热丝化学气相沉积(CVD)现有设备的热丝和进气口平板之间位置增加一个热蒸发装置。设备由供气系统、抽气系统、冷却系统、真空反应室、衬底支架、源气体激活装置、热蒸发装置和电控系统组成。其特征在于；在上述设备中，所述的热蒸发装置与热丝等离子激活装置组成复合装置。热蒸发装置包含热蒸发丝、热蒸发丝支架和对热蒸发丝供电的热蒸发丝电源。