[发明专利]一种用于高温扩散系统的尾气收集装置无效
| 申请号： | 200710034256.4 | 申请日： | 2007-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101220518A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 向小龙 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于高温扩散系统的尾气收集装置，包括石英反应管、放置在所述石英反应管内部的尾气导出管、冷却瓶、盘管和收集瓶，其中尾气导出管一侧与冷却瓶一端连接，冷却瓶另一端与盘管一端连接，盘管固定于收集瓶瓶身，且盘管另一端与收集瓶相通。本装置能够高效、安全、简便的收集有毒害工艺尾气，将传统的尾气从炉口直接排出、尾气直接与空气接触产生大量的偏磷酸改为密闭收集，排出的工艺尾气不直接与大气接触从而使废液偏磷酸生成量大大减少，极大降低了设备的维护周期，使扩散工艺更加清洁、环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高温 扩散 系统 尾气 收集 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于高温扩散系统的尾气收集装置，包括石英反应管(1)，其特征在于，还包括放置在所述石英反应管(1)内部的尾气导出管(2)、冷却瓶(4)、盘管(6)和收集瓶(5)，其中尾气导出管(2)一侧与冷却瓶(4)一端连接，冷却瓶(4)另一端与盘管(6)一端连接，盘管(6)固定于收集瓶(5)瓶身，且盘管(6)另一端与收集瓶(5)相通。
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