[发明专利]高衍射效率二元相位型散焦光栅及其制造方法有效
| 申请号： | 200710034259.8 | 申请日： | 2007-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101000389A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 习锋杰;姜宗福;许晓军;王铁志;汪晓波;王墨戈 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 | 代理人： | 陈晖 |
| 地址： | 410073湖南省长沙市砚瓦池正街4*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种用于波前曲率传感器的高衍射效率二元相位型散焦光栅及其制造方法，它是一种在光学透明介质上形成的、相位按多个离轴菲涅耳半波带分布的相位板，半波带的相位分布为同一半波带的相位值是相同的，相邻半波带的相位值是0和π相间的。其制造方法为先按散焦光栅的光瞳半径R、计算出的光瞳内各菲涅耳半波带的半径rk和二元相位浮雕的几何高度h，画出散焦光栅的图形，利用电子束直写技术制作散焦光栅图形掩模版；然后通过光刻技术，将掩模版图案转移到涂有光刻胶的光学介质基底上；再在光学介质基底上依照设计图案制作出相位浮雕。本发明可抑制零级衍射光的衍射效率，消除零级衍射光的干扰，±1级衍射光的衍射效率相等且较高。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 效率 二元 相位 散焦 光栅 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于波前曲率传感器的高衍射效率二元相位型散焦光栅，其特征在于它是一种在光学透明介质上形成的、相位按照多个离轴菲涅耳半波带分布的相位板，所述半波带的相位分布为同一半波带的相位值是相同的，相邻半波带的相位值是0和π相间的。
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