[发明专利]非球面镜衍射图像检测方法与装置

摘要

本发明公开了一种非球面镜衍射图像检测方法和装置，它包括五自由度运动调整平台以及装设于平台上的CCD相机、激光点光源、半透半反镜以及被测非球面镜、含有面形重构算法程序的主控计算机。利用CCD相机，以被测镜定点曲率半径为原点，拍摄不同位置上离焦衍射光强图片，并记录位置参数，将拍摄的衍射光强图片、位置参数以及被测镜相关参数输入计算机，由计算机按镜面面形重构算法，对拍摄到的多幅衍射图像进行波面重构计算，得到被测镜面的面形误差分布，从而实现低成本、高精度、高效率的非球面镜中高频误差检测。

主权项

1、一种非球面镜衍射图像检测方法，包括以下步骤：第一步：将激光点光源设置于其光源中心轴线与被测镜面轴线重合并处在被测镜的定点曲率半径处的位置；第二步：在激光点光源和被测镜面之间设置和调整半透半反镜，使得反射光束能够从垂直于被测镜面轴线的方向射出；第三步：将CCD相机置于出射光束的焦点附近，并使出射光束在焦点附近的衍射图像完全成像在CCD相机的靶面上；第四步：前后移动CCD相机，以被测镜定点曲率半径为原点，拍摄不同位置上离焦衍射光强图片，并记录位置参数，在拍摄时注意保持CCD相机靶面垂直于出射光束方向；第五步：将拍摄的衍射光强图片、位置参数以及被测镜相关参数输入计算机，由计算机按镜面面形重构算法对拍摄到的多幅衍射图像进行波面重构计算，得到被测镜面的面形误差分布。