[发明专利]节能高效太阳能集热管镀膜机反应溅射拐点电压控制方法无效
| 申请号： | 200710035213.8 | 申请日： | 2007-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101333643A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈文光;李云程;彭意成 | 申请（专利权）人： | 衡阳市真空机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 衡阳市科航专利事务所 | 代理人： | 刘勋阶 |
| 地址： | 421001湖南省衡*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种节能高效太阳能集热管镀膜机反应溅射拐点电压控制方法，其通过调节反应气体流量，将溅射镀膜电源输出的直流电压控制在拐点电压处，使得镀膜机可以工作在较宽的不同电压下，反应气体又可以尽可能的大，即有高的沉积速率，本发明控制方法与现有技术相比，具有系统稳定，成膜工艺稳定可靠的特点，镀膜机采用本发明拐点恒电压控制仪实现闭环控制后，在拐点电压处的镀膜沉积速率最高，是其它处的5～8倍。这样可以在单位时间内提高产量，降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 节能 高效 太阳能 热管 镀膜 反应 溅射 拐点 电压 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种节能高效太阳能集热管镀膜机反应溅射拐点电压控制方法，其特征是：通过调节反应气体流量，将溅射镀膜电源输出的直流电压控制在拐点电压处，使镀膜机工作在拐点电压处，以获得高的成膜速度和镀膜机系统的稳定。
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