[发明专利]易于集成制造的磁双稳微机械继电器

摘要

一种易于集成制造的磁双稳微机械继电器，属于电子元件技术领域。本发明包括：微驱动线圈、切换机构、固定触点，所述的微驱动线圈包括：微驱动线圈绕组、永磁体、软磁磁轭，软磁磁轭位于微驱动线圈绕组的中央、下方和四周，永磁体位于软磁磁轭下方，切换机构和固定触点制作在微驱动线圈表面。本发明降低了集成制造的难度，可以利用现有微电子工艺在基片的正面制作软磁磁轭、线圈绕组、固定触点及切换机构，在背面制作永磁体；利用永磁体来提供导通状态的保持力而无须继续对线圈继续通电，可以避免导通状态的不必要功率损耗、大大降低器件的功耗。

主权项

1.一种易于集成制造的磁双稳微机械继电器，包括：驱动线圈(1)、切换机构(2)、固定触点(3)，其特征在于，所述的驱动线圈(1)包括：微驱动线圈绕组(4)、永磁体(5)、软磁磁轭(6)，软磁磁轭(6)位于微驱动线圈绕组(4)的中央、下方和四周，永磁体(5)位于软磁磁轭(6)下方，切换机构(2)和固定触点(3)设置在驱动线圈(1)表面。