[发明专利]实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪无效
| 申请号： | 200710037262.5 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101033938A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 何国田;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪，包括一半导体激光器，沿该半导体激光器的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组、分束器，在该分束器的透射光束的前进方向上设置被测物体，在分束器的反射光束的前进方向上放置有参考平板；被参考平板反射的光束前进方向上依次放置有第二透镜和探测元件，其特征在于：所述的探测元件的输出端与信号处理单元的第一输入端相连接，信号处理单元的输出端与计算机相连接，直流电源和信号源通过驱动器与半导体激光器相连接，该信号源的第二输出端与所述的信号处理单元的第二输入端相连接。本发明的优点是操作方便，测量范围大，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 测量 表面 形貌 正弦 相位 调制 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪，包括一半导体激光器(1)沿该半导体激光器(1)的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组(2)、分束器(3)，在该分束器(3)的透射光束(t1)的前进方向上设置被测物体(5)，在分束器(3)的反射光束(f1)的前进方向上放置有参考平板(4)；光束(f1)被参考平板(4)反射后的前进方向上依次放置有第二透镜(6)和探测元件(7)，其特征在于：所述的探测元件(7)的输出端与信号处理单元(11)的第一输入端(8a)相连接，信号处理单元(11)的输出端与计算机(12)相连接，与半导体激光器(1)连接的驱动器(13)分别与直流电源(14)和信号源(15)连接，该信号源(15)的第二输出端与所述的信号处理单元(11)的第二输入端(8b)相连接。
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