[发明专利]一种双峰谐振镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法无效
| 申请号： | 200710037525.2 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101017137A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 顾铮先 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双峰谐振镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法，涉及气敏传感器的制造技术领域；所要解决的是小型化、高集成、可遥测、高灵敏的气敏传感器的制造技术问题；该气敏传感器的制造方法包括如下步骤：1)选择光纤光栅；2)确定镀膜厚度；3)确定双峰中心波长；4)光纤光栅包层涂膜；5)传感头制作；6)双峰信号检测。本发明提供了一种小型化、高集成、可遥测的高灵敏镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法，有效利用了光纤光栅双峰谐振效应，应用这种方法所制造的传感器，对检测气体具有很高的灵敏度，对膜层折射率的测量分辨率可高达10－7；由于它集中了薄膜传感器和光纤光栅传感器的优点，有望在光化学传感器中得到广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双峰 谐振 镀膜 光纤 光栅 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种双峰谐振镀膜光纤光栅气敏传感器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：1)选择光纤光栅；2)确定镀膜厚度；3)确定双峰中心波长；4)光纤光栅包层涂膜；5)传感头制作；6)双峰信号检测。
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