[发明专利]悬浮式反磁敏感质量微型加速度计

摘要

一种微机电技术领域悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。本发明由上定子，转子和下定子构成，通过对永磁材料制备的上、下定子公共电容极板结构的四个扇形区以及上、下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板充磁，同时采用反磁材料制作转子基片，提供了一种相比传统静电悬浮省去了提供悬浮静电电极、线圈或电容极板等静电悬浮控制单元，且改为采用永磁材料和反磁材料相结合实现自稳悬浮的新型悬浮式反磁敏感质量微型加速度计。它可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度等多个自由度的加速度，进而可以用来对物体进行精确定位，用于检测加速度信号或导航。

主权项

1.一种悬浮式反磁敏感质量微型加速度计，由上定子、转子和下定子三部分构成，其特征在于：上定子上设有上定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板以及上定子公共电容极板结构，二者位于同一平面即上定子引线层之上，平面几何中心分布的是上定子公共电容极板结构，在以平面几何中心为圆心的由内往外的三个同心圆周上，第一个同心圆周上均匀分布着上定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板；转子则采用反磁材料制作其基片，即转子中间反磁材料层；下定子上设有下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板以及下定子公共电容极板结构，二者位于同一平面即下定子引线层之上，平面几何中心分布的是下定子公共电容极板结构，在以平面几何中心为圆心的由内往外的三个同心圆周上，第一个同心圆周上均匀分布着下定子检测Z轴方向线加速度和绕X、Y轴的角加速度的电容极板；在上述结构中，上定子公共电容极板结构和下定子公共电容极板结构均包括一个中心区和四个扇形区。