[发明专利]一种对称式双远心投影光学系统有效
| 申请号： | 200710038508.0 | 申请日： | 2007-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101021607A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民;周畅;刘国淦 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00;G02B9/64 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种对称式双远心投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内。所述对称式双远心投影光学系统为全折射式投影光学系统，分为前组和后组，并以孔径光阑为对称面。前组包括第一到第四镜组，第一镜组和第三镜组具有负光焦度，第二镜组和第四镜组具有正光焦度，第一镜组和第二镜组、第三镜组和第四镜组分别构成反远距结构；后组沿光轴依次包括第五到第八镜组，分别与第四到第一镜组关于孔径光阑对称；且所述的对称式双远心投影光学系统中不包含非球面镜片。采用本发明的对称式双远心投影光学系统，不仅能有效地校正色差，扩大工作距，提升成像质量；而且由于不包含非球面镜片，加工、检测比非球面简单，可大大降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 式双远心 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
1、一种对称式双远心投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述的对称式双远心投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：所述的前组由第一到第四镜组(G1～G4)组成，第一和第三镜组(G1、G3)具有负光焦度，第二和第四镜组(G2、G4)具有正光焦度；所述的后组由第五到第八镜组(G5～G8)组成，第五和第七镜组(G5、G7)具有正光焦度，第六和第八镜组(G6、G8)具有负光焦度；所述的前组和后组关于孔径光阑对称，且所述每一镜组的光学透镜表面均为球面或平面。
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