[发明专利]带有电容栅的共面栅阳极碲锌镉探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种新颖的带有电容栅的共面栅阳极碲锌镉探测器的设计和电容栅的制备方法，这种器件在共面栅阳极器件上，增加一个电容栅，形成共面栅阳极－电容栅复合结构碲锌镉核探测器件，即碲锌镉核探测器件的阳极采用改进的共面栅结构，阴极采用全平面电极并在器件阴、阳极端面之间的器件侧面增加一个与阴极电连接的电容栅，属半导体探测器件技术领域。本发明中的电容栅制备工艺能获得有效修正权重势分布并与阴极电连接的电容栅，从而该碲锌镉探测器件在共面栅阳极和侧面电容栅的双重作用下改善性能，其特征为，在阴极和共面栅阳极端面之间的晶片侧面包有环绕晶体的如聚四氟乙烯或涤纶等绝缘介质薄膜材料，形成环绕晶体侧面的绝缘介质薄膜环套，然后再在介质材料上沉积或包覆金属层形成环绕绝缘介质薄膜的金属环套，金属环套一边紧靠阴极端面，另一边与阳极端面保留有晶片侧面高度(即器件厚度)1/2～1/10的间距，介质环套和包覆其上的金属环套和一起构成器件侧面电容栅，该电容栅与阴极电连接，以达到与阴极同电位。

主权项

1.一种带有电容栅的共面栅阳极碲锌镉探测器，由共面栅阳极碲锌镉探测器(1)和电容栅(2)组成，其特征在于该探测器的结构为：电容栅(2)由绝缘介质薄膜层(6)和沉积或包覆在其上的金属层(7)构成；绝缘介质薄膜层(6)环绕共面栅阳极碲锌镉探测器(1)的晶体(4)的侧面，形成一个环绕晶体(4)侧面的绝缘介质薄膜环套，且绝缘介质薄膜层(6)的宽度与晶体(4)侧面高度相等；金属层(7)的一边紧靠共面栅阳极碲锌镉探测器(1)的阴极(5)，另一边与共面栅阳极碲锌镉探测器(1)的阳极(3)保留有晶体(4)侧面高度的1/2～1/10的间距；将该电容栅(2)与共面栅阳极碲锌镉探测器(1)的阴极(5)用金丝相连，使电容栅(2)与阴极(5)共电势。