[发明专利]半导体生产系统的程序处理方法无效
| 申请号： | 200710039198.4 | 申请日： | 2007-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN101281393A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 曾繁中;钱洪涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体生产系统的程序处理方法，其涉及半导体制造领域。该程序处理方法包括：提供程序管理装置，其具有程序控制模块；提供与程序管理装置相接通的数个工作设备，所述数个工作设备具有执行相同工艺步骤的程序；在程序控制模块修改程序；程序控制模块将修改后的程序同时向数个工作设备传输，更新工作设备内的程序。与现有技术相比，本发明揭示的程序处理方法不仅节省了修改数个工作设备程序的时间，而且避免了修改过程中的误操作，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 系统 程序 处理 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种半导体生产系统的程序处理方法，其包括：提供程序管理装置，其具有程序控制模块；提供与程序管理装置相接通的数个工作设备，所述数个工作设备均具有执行相同工艺步骤的程序；其特征在于：在上述程序控制模块内修改程序；程序管理装置将修改后的程序一次向所需修改的工作设备传输，更新工作设备内的程序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710039198.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
